Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1198 Ergebnisse
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NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
Steffen Hesse1.Experten-Tag für Präzisionsmesstechnik, Oktober 28-29, 2025, bei SIOS Meßtechnik GmbH, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Davi-Anders Brasil1. Ludwig Herzog1.euspen Special Interest Conference: Precision Motion Systems and Control, Brabanthallen, ’s-Hertogenbosch, The Netherlands, November 12-13, 20241IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D200 – A Long Range Nanopositioning Stage with 6D Closed Loop Control
Steffen Hesse1. Alex Huaman1. Michael Katzschmann1. Bianca Leistritz1. Ludwig Herzog1.Appl. Sci. 2024, 14, 6972. DOI: doi.org/10.3390/app141669721IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
NPS6D100-A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace
Steffen Hesse1. Alex S. Huaman1. Michael Katzschmann1. Ludwig Herzog1.Actuators 2025, 14, 361, DOI: doi.org/10.3390/act140803611IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Novel Single-Switch Converter with Power Factor Correction
H. Wei. I. Bartaseh. P. Kornetzky1.IEEE Trans. on Aerospace and Electronic Systems, Vol. 35, No. 4, Oktober 19991IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Novel Precision Positioning System with Integrated Planar Guides
M. Stubenrauch1. A. Albrecht1. W. Hild2. O. Mollenhauer3. B. Guddei3. S. Spiller3. C. Schäffel4. M. Katzschmann4. F. Spiller4.53rd International Scientific Colloquium (IWK 2008), Proceedings S. 251-252, 08.-12. September 2008, Ilmenau, Germany1Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. 2Carl Zeiss SMT AG, Jena, Germany. 3TETRA GmbH, Ilmenau, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Novel Precision Positioning System with Integrated Planar Guides
M. Stubenrauch1. A. Albrecht1. W. Hild2. O. Mollenhauer3. B. Guddei3. S. Spiller3. C. Schäffel4. M. Katzschmann4. F. Spiller4.53rd International Scientific Colloquium (IWK 2008), 08.-12. September 2008, Ilmenau, Germany1Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. 2Carl Zeiss SMT AG, Jena, Germany. 3TETRA GmbH, Ilmenau, Germany. 4IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Novel Metrics for Analog Mixed-Signal Coverage
Andreas Fürtig1. Georg Gläser2. Christoph Grimm3. Lars Hedrich1. Stefan Heinen6. Hyun-Sek Lukas Lee4. Gregor Nitsche5. Markus Olbrich4. Carna Radojicic3. Fabian Speicher6.2017 IEEE 20th International Symposium on Design and Diagnostics of Electronic Circuits & Systems (DDECS), Dresden, Germany, 19-21 April 2017, pp. 97-102, DOI: doi.org/10.1109/DDECS.2017.79345891Institute for Computer Science, Goethe Universität Frankfurt a. M., Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3Design of Cyber-Physical Systems, Kaiserslautern University of Technology, Germany. 4Institute of Microelectronic Systems, Leibniz Universität Hannover, Germany. 5OFFIS, Institute for Information Technology, Germany. 6Chair of Integrated Analog Circuits, RWTH Aachen University, Germany. -
Nonlinear vibration energy generators with mechanical stoppers for low-frequency boardband applications
Bianca Leistritz1. Hannes Töpfer2.13th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMems), London, Großbritannien, 03.12.2013-06.12.20131IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Ilmenau University of Technology, Department of Advanced Electromagnetics.Vortrag -
Nonlinear vibration energy generators with mechanical stoppers for low-frequency boardband applications
Bianca Leistritz1. Hannes Töpfer2.13th International Conference on Micro and Nanotechnology for Power Generation and Energy Conversion Applications (PowerMems), London, Großbritannien, 2013, J. Phys.: Conf. Ser. 476 012050 DOI: dx.doi.org/10.1088/1742-6596/476/1/012050, iopscience.iop.org/1742-6596/476/1/0120501IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Ilmenau University of Technology, Department of Advanced Electromagnetics.Fachartikel GreenSense