Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1210 Ergebnisse
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Parametric Measurement Unit and Pin Electronics for modular Mixed Signal Test Systems
A. Rolapp1. R. Paris1.Chip, Packaging, Design, Simulation and Test - International Conference, Workshop and Table-top Exhibition 'Semiconductor Conference Dresden 2009' (SCD 2009), 29. - 30. April 2009, Dresden1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Parameteridentifikation von MEMS auf Wafer-Level mittels dynamischer Messungen
S. Michael1. R. Paris2. S. Hering3.6. ITG/GI/GMM-Workshop Multi-Nature Systems: Entwicklung von Systemen mit elektronischen und nichtelektronischen Komponenten, Februar 2007, Erfurt1Melexis Erfurt GmbH. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 3X-FAB AG.Vortrag -
Parameter Identification of Piezoelectric AlGaN/GaN Beam Resonators by Dynamic Measurements
St. Michael1. K. Brueckner2. F. Niebelschuetz2. K. Tonisch2. C. Schäffel1.10th EuroSimE 2009, 26.-28. April, Delft, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau, Institute of Micro- and Nanotechnologies.Fachartikel -
Parameter Identification of MEMS Membrane and Beam Structures by Modal Analysis and Dynamic Measurements
St. Michael1.ANSYS Conference & 27. CADFEM Users' Meeting, 18. - 20. November 2009, Leipzig1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
Parameter Identification of Membrane Structures - Chances and Limitations
S. Michael1.SSI 2010 - MEMUNITY Workshop, 24.03.2010, Grenoble, France1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Parameter extraction such as layer thickness and stress at wafer level for process monitoring in semiconductor manufacturing
Steffen Michael1.Microstructure User Meeting 2026, Symposium zur optischen Schwingungsmessung, 19. März 2026, Waldbronn, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Out-of-Band Over-The-Air-Update for LoRaWAN-based Sensor Networks using BLE
Florian Jung1. Silvia Krug1,2. Tino Hutschenreuther1.2025 IEEE International Workshop on Metrology for Agriculture and Forestry (MetroAgriFor), October 28-30, 2025, Bologna, Italy1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Mid Sweden University, Sundsvall, Sweden. -
Out-of-Band Over-The-Air-Update for LoRaWAN-based Sensor Networks using BLE
Florian Jung1. Silvia Krug1,2. Tino Hutschenreuther1.2025 IEEE International Workshop on Metrology for Agriculture and Forestry (MetroAgriFor), October 28-30, 2025, Bologna, Italy, pp. 330-335, DOI: doi.org/10.1109/MetroAgriFor66923.2025.115123811IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Mid Sweden University, Sundsvall, Sweden. -
OPV und TIA-Optimierung mit WiCkeD
V. Boos1. St. Lange1.Workshop: 'Effizienzsteigerung und Ausbeuteverbesserung im analogen Schaltungsentwurf mit WiCkeD, 20.01.2004, Erfurt1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
OPTOELECTRONICS BiCMOS OEIC for optical storage systems
M. Heise1. K. Kieschnick. H. Pleß. H. Zimmermann.Electronics Letters, September 19981IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel