Aktuelle Publikation
Parameter Identification of MEMS Membrane and Beam Structures by Modal Analysis and Dynamic Measurements
St. Michael1.
ANSYS Conference & 27. CADFEM Users' Meeting, 18. - 20. November 2009, Leipzig
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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