Aktuelle Publikation
Parameteridentifikation von MEMS auf Wafer-Level mittels dynamischer Messungen
S. Michael1.
R. Paris2.
S. Hering3.
6. ITG/GI/GMM-Workshop Multi-Nature Systems: Entwicklung von Systemen mit elektronischen und nichtelektronischen Komponenten, Februar 2007, Erfurt
1Melexis Erfurt GmbH.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
3X-FAB AG.
Vortrag