Aktuelle Publikation
Parameter extraction such as layer thickness and stress at wafer level for process monitoring in semiconductor manufacturing
Steffen Michael1.
Microstructure User Meeting 2026, Symposium zur optischen Schwingungsmessung, March 19, 2026, Waldbronn, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.