Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1226 Ergebnisse
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The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers
Bernd Hähnlein1, Maria Kellner2, Maximilian Krey3, Alireza Nikpourian2, Jörg Pezoldt4, Steffen Michael2, Hannes Toepfer2,3, Stefan Krischok1, Katja Tonisch1in Sensors and Actuators A: Physical, vol. 345, pp. 113784, 2022, DOI: doi.org/10.1016/j.sna.2022.1137841Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Technische Physik 1, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Theoretische Elektrotechnik, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 66, Germany, 4Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Nanotechnologie, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long-Stroke Vertical Nanopositioning System: Part I
Alex S. Huaman1, Johann Reger22022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), , Trieste, Italy, pp. 614-620, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.99661031IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long Stroke Vertical Nanopositioning System: Part II
Alex S. Huaman1, Johann Reger22022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), , Trieste, Italy, pp. 621-627, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.99659931IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Department of Computer Science and Automation, Control Engineering Group, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany -
An IoT-based Sensor System to Capture Flower Bud Growth in Spring
Silvia Krug1,2, Tino Hutschenreuther119. GI/ITG KuVS Fachgespräch Sensornetze (FGSN 2022), , Berlin, Germany, pp. 37-40, DOI: doi.org/10.34702/mncp-qb181IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Mid Sweden University, Department of Computer and Electrical Engineering, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden -
KI für energieeffiziente Sensorsysteme – Effiziente Überwachung von Maschinen und Anlagen
Sebastian Uziel1elmug4future, Technologiekonferenz, , Friedrichroda, Thüringen1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Machine-Learning im PCB-Entwurf: Open-Source zwischen Forschung, Potential und Alltag
Georg Gläser130. Konferenz des Fachverbandes für Design, Leiterplatten- und Elektronikfertigung (FED), , Potsdam, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1, Michael Katzschmann1, Alex S. Huaman1, Stephan Gorges1, Eberhard Manske2euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, , ’s-Hertogenbosch, Netherlands1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Technische Universität Ilmenau, Fakultät Maschinenbau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ehrenbergstraße 29, 98693 Ilmenau, Germany -
Experimentierfeld zur datengetriebenen Vernetzung und Digitalisierung in der Landwirtschaft
Silvia Krug1Thüringer Obstbautag, , Erfurt1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany -
Towards Deploying DNN Models on Edge for Predictive Maintenance Applications
Rick Pandey1, Sebastian Uziel1, Tino Hutschenreuther1, Silvia Krug1,2Electronics 2023, 12(3), 639, DOI: doi.org/10.3390/electronics120306391IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2Mid Sweden University, Department of Computer and Electrical Engineering, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden -
Messumgebung für Lebensdauertests basierend auf dem Konzept der universellen Test-Chips (UTC)
Björn Bieske1, Ingo Gryl1, Pierre Wenke2, Martin Jäger3, Jörg Steinecke2, Xiao Liu235. ITG/GI/GMM-Workshop Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2023), , Erfurt, Germany1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2X-FAB Semiconductor Foundries GmbH, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 3X-FAB Global Services GmbH, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany