Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1163 Ergebnisse
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Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm
Jaqueline Stauffenberg1. Ingo Ortlepp1. Johannes Belkner1. Denis Dontsov2. Enrico Langlotz2. Steffen Hesse3. Ivo Rangelow4. Eberhard Manske1.Applied Sciences. 2022; 12(15):7843. DOI: doi.org/10.3390/app121578431Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, 98693 Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany. -
The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers
Bernd Hähnlein1. Maria Kellner2. Maximilian Krey3. Alireza Nikpourian2. Jörg Pezoldt4. Steffen Michael2. Hannes Töpfer3. Stefan Krischok1. Katja Tonisch1.Sensors and Actuators A: Physical, Volume 345, 2022, 113784, ISSN 0924-4247, DOI: doi.org/10.1016/j.sna.2022.1137841FG Technische Physik 1, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3FG Theoretische Elektrotechnik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. 4FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long-Stroke Vertical Nanopositioning System: Part I
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.2022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), 2022, pp. 614-620, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.9966103, 22 - 25 August, 2022, Trieste, Italy1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany. -
Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long Stroke Vertical Nanopositioning System: Part II
Alex S. Huaman1. Johann Reger2.2022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), 2022, pp. 621-627, DOI: doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.9965993, 22 - 25 August, 2022, Trieste, Italy1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Control Engineering Group, Technische Universität Ilmenau, P.O. Box 10-05-65, D-98684, Ilmenau, Germany. -
An IoT-based Sensor System to Capture Flower Bud Growth in Spring
Silvia Krug1,2. Tino Hutschenreuther1.19. GI/ITG KuVS Fachgespräch Sensornetze (FGSN 2022), pp. 37-40, DOI: doi.org/10.34702/mncp-qb18. 15. September 2022, Berlin, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Mid Sweden University Sundsvall, Sweden. -
KI für energieeffiziente Sensorsysteme – Effiziente Überwachung von Maschinen und Anlagen
Sebastian Uziel1.elmug4future, Technologiekonferenz, 27. - 28. September 2022, Friedrichroda, Thüringen1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Machine-Learning im PCB-Entwurf: Open-Source zwischen Forschung, Potential und Alltag
Georg Gläser1.30. Konferenz des Fachverbandes für Design, Leiterplatten- und Elektronikfertigung (FED), 29. - 30. September 2022, Potsdam, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Operation and performance evaluation of vertical nanopositioners for 10 mm stroke in a 3D lift and tilt test setup
Steffen Hesse1. Michael Katzschmann1. Alex S. Huaman1. Stephan Gorges1. Eberhard Manske2.euspen – Special Interest Group Meeting: Precision Motion Systems & Control, 15th – 16th November 2022, s-Hertogenbosch, The Netherlands, NL1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany. -
Experimentierfeld zur datengetriebenen Vernetzung und Digitalisierung in der Landwirtschaft
Silvia Krug1.Thüringer Obstbautag, 18. Januar 2023, Erfurt1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Towards Deploying DNN Models on Edge for Predictive Maintenance Applications
Rick Pandey1. Sebastian Uziel1. Tino Hutschenreuther1. Silvia Krug1,2.Electronics 2023, 12(3), 639; DOI: doi.org/10.3390/electronics120306391IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Department of Computer and Electrical Engineering, Mid Sweden University, Holmgatan 10, 851 70 Sundsvall, Sweden.