The angle dependent &Delta;E effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers

The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers

Bernd Hähnlein¹. Maria Kellner². Maximilian Krey³. Alireza Nikpourian². Jörg Pezoldt⁴. Steffen Michael². Hannes Töpfer³. Stefan Krischok¹. Katja Tonisch¹.

Sensors and Actuators A: Physical, Volume 345, 2022, 113784, ISSN 0924-4247, DOI: doi.org/10.1016/j.sna.2022.113784

¹FG Technische Physik 1, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. ³FG Theoretische Elektrotechnik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany. ⁴FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany.

Integrierte Sensorsysteme Begutachtete Veröffentlichung

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MagSens

Das IMMS forschte mit an MEMS-Sensoren, die künftig schwächste Magnetfelder detektieren sollen, wie z.B. in der Medizintechnik.

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