Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1163 Ergebnisse
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Unconventional, lateral measurements with laser focus sensors for nanopositioning stages
Davi Anders Brasil1. Michael Katzschmann1. Steffen Hesse1. Ludwig Herzog1. T. Fröhlich2. T. Kissinger2.euspen Special Interest Group Meeting, "Micro/Nano Manufacturing", 28. - 29. November 2023, Ilmenau, Germany1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Technische Universität Ilmenau, Germany. -
UML-based statistical test case generation
M. Riebisch. I. Philippow. M. Götze1.Net.ObjectDays, Erfurt, September 20021IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
UML-based statistical test case generation
M. Riebisch. I. Philippow. M. Götze1.Net.ObjectDays 2002, Net.ObjectDays c/o tranSIT GmbH, 20021IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Ultrasensitive Materialien für Nanoeletromechanische Systeme - USENEMS
R. Grieseler1. K. Tonisch2. J. Klaus3. M. Stubenrauch2. B. Leistritz3. R. Srnanek4. S. Michael3. J. Petzoldt2. P. Schaaf1.Thüringer Werkstofftage 2012. Weimar. 14.03.20121Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologie MacroNano und Institut für Werstofftechnik Fachgebiet Werkstoffe der Elekrotechnik. 2Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologie MacroNano und und Institut für Mikro- Nanoelektronik Fachgebiet Nanotechnologie. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 4FEI Slowakische Technische Universität Bratislava, Fachgebiet für Mikroelektronik, Slowakei.Posterpräsentation -
UltraLowPower-Anforderungen an die Vernetzung von Sensoren
Tino Hutschenreuther1.ELMUG-Branchentag, Ilmenau, 5.12.20121IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
UHF-RFID-Chip zum batterielosen Betrieb kommerzieller Sensoren für I4.0-Anwendungen
Muralikrishna Sathyamurthy1.Markt&Technik, Ausgabe 07/2020, 14. Februar 2020, Seite 40-421IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Überwachung von Druckluftanlagen zum Einsparen von Ressourcen
Sebastian Uziel1.Veranstaltungsreihe Ressourceneffizienz vor Ort – Digitalisierung & Ressourceneffizienz, 26. November 2019, Industrie- und Handelskammer Südthüringen, Suhl1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. -
Übersicht zur Simulation von Multi-Nature -Systeme
K. Coddens1. R. Diels1. D. Nuernbergk2. F. Rößler2. R. Syba3.MTT 2000, 3. Fachausstellung und Technologiesymposium, Erfurt, Mai 20001Melexis n.v.. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 3Thesys GmbH.Vortrag -
Übersicht zum Stand des HF-Entwurfs
M. Lange1.IMMS, F & E Report 1/98, Ilmenau, Januar 19981IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Two-dimensional electron gas based actuation of piezoelectric AlGaN/GaN microelectromechanical resonators
K. Brueckner1. F. Niebelschuetz1. K. Tonisch1. St. Michael2. A. Dadgar3. A. Krost3. V. Cimalla4. O. Ambacher4. R. Stephan1. M. A. Hein1.APPLIED PHYSICS - LETTERS 93, 173504 _20081Technische Universität Ilmenau, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 3Otto-von-Guericke Universität Magdeburg, Germany. 4Fraunhofer Institute for Applied Solid-State Physics, Freiburg, Germany.Fachartikel