Aktuelle Publikation
Ultrasensitive Materialien für Nanoeletromechanische Systeme - USENEMS
R. Grieseler1.
K. Tonisch2.
J. Klaus3.
M. Stubenrauch2.
B. Leistritz3.
R. Srnanek4.
S. Michael3.
J. Petzoldt2.
P. Schaaf1.
Thüringer Werkstofftage 2012. Weimar. 14.03.2012
1Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologie MacroNano und Institut für Werstofftechnik Fachgebiet Werkstoffe der Elekrotechnik.
2Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologie MacroNano und und Institut für Mikro- Nanoelektronik Fachgebiet Nanotechnologie.
3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
4FEI Slowakische Technische Universität Bratislava, Fachgebiet für Mikroelektronik, Slowakei.
Posterpräsentation