2176 results
Reference
1975.
Abschlußbericht zum Verbundprojekt 'Fabrikation von Mikro - Elektro - Mechanischen Systemen (MEMS - Fab)'
Reference
1976.
Anordnung von Referenzmarken auf Messrasterplatten und Referenzmarkensensoren auf dem dazugehörigen optoelektronisch arbeitenden Messkopf