Ingo Ortlepp,
Michael Kühnel, Martin Hofmann, Laura Weidenfeller
Johannes Kirchner, Shraddha Supreeti
Rostyslav Mastylo, Mathias Holz
Thomas Michels, Roland Füßl
Ivo W. Rangelow, Thomas Fröhlich
Denis Dontsov
Christoph Schäffel
Eberhard Manske
Proc. SPIE 11324, Novel Patterning Technologies for Semiconductors, MEMS/NEMS and MOEMS 2020, 113240A (23 March 2020), DOI: https://doi.org/10.1117/12.2551044
Demonstrator der Forschergruppe Green-ISAS für Industrie-4.0-Anwendungen und Präsentation des IMMS alias „Modellfabrik Migration“ des Mittelstand-4.0-Kompetenzzentrums Ilmenau