Annual Report 2009
Annual Report 2009 IMPRINT Publisher Institute for Microelectronic and Mechatronic Systems GmbH Editing and Proof Reading Prof. Dr.-Ing. Ralf Sommer Dipl.-Ing. Hans-Joachim Kelm Dipl.-Medienwiss. Ines Lehrke Manuel Mohr Tina Schmidt Layout and Composings Manuel Mohr Tina Schmidt Dipl.-Medienwiss. Ines Lehrke Translation Dr. David Kirya Pre-press Frank Diehn • www.fRanKon.de Printed by Brandtdruck e.K. Mittelstraße 9, 98714 Stützerbach www.brandtdruck.de info@brandtdruck.de Photos Dipl.-Kffr. Stefanie Theiß www.pixelio.de Contact Dipl.-Medienwiss. Ines Lehrke PR /…
2008 Jahresbericht | Fachartikel SFB622 (de/en)
Planarmotorkonzept für die Positionierung mit Nanometerpräzision Planar Motor Concept for Positioning with Nanometer Precision Einleitung Introduction Das Erreichen von Unsicherheiten im Bereich weniger Nanometer in Verbindung mit einem Verfahrbereich von einigen 100 mm - das ist eine Zielstellung, die Forschergruppen weltweit beschäftigt. Positioning systems with uncertainties of just a few nanometers and travel ranges of 100 mm and higher - this is the ambition of many R&D institutes throughout the world. As a part of SFB 622, IMMS is…
