1531. Design of an interferometric test station for parallel inspection of MEMS   C. Schäffel, S. Michael R. Paris A. Frank N. Zeike K. Gastinger M. Kujawinska U. Zeitner S. Beer Ilmenau. In Proceedings. 56. Int. wissenschaftliches Kolloquium der TU Ilmenau. URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2011iwk-098:5  

  1532. Interferometric controlled planar positioning system with zerodur slider   S. Hesse, C. Schäffel H-U. Mohr H.-J. Büchner Ilmenau: 56. IWK der TU Ilmenau. 12.09. - 16.09.2011  

  1533. Entwicklung eines magnetisch geführten, planaren Direktantriebs   M. Katzschmann, D. Karolewski C. Schäffel Zittau: 8. Workshop Magnetlagertechnik Zittau-Chemnitz. Tagungsband. S. 23-29  

  1535. Messwertgestützte Energieeffizienzoptimierung   F. Dinger, T. Hutschenreuther Erfurt: 4. Energieeffizienz-Workshop: 'Energieeffizienz durch Prozessoptimierung - Von der Analyse zu intelligenten Lösungen'. 07.07.2011  

  1536. Die Zukunft zu Hause - Smart Home Services   T. Hutschenreuther, M. Götze Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.2011  

  1537. Flexible Hardware-Softwareplattformen für Smart Home Services   T. Hutschenreuther, M. Götze Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.2011  

  1538. Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform   F. Spiller, Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.2011  

  1539. Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform   F. Spiller, Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.2011  

  1540. Energy Harvesting für drahtlose Sensornetzwerke   H. Töpfer, Suhl: elmug4future, 05.07. - 06.07.2011