IMMS - Publications overview

Publications overview –MagSens

The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers
Bernd Hähnlein¹, Maria Kellner², Maximilian Krey³, Alireza Nikpourian², Jörg Pezoldt⁴, Steffen Michael², Hannes Toepfer^2,3, Stefan Krischok¹, Katja Tonisch¹
in Sensors and Actuators A: Physical, vol. 345, pp. 113784, 2022, DOI: doi.org/10.1016/j.sna.2022.113784
¹Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Technische Physik 1, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, ²IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, ³Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Theoretische Elektrotechnik, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 66, Germany, ⁴Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Nanotechnologie, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany
Integrated sensor systems Reviewed scientific articleMagSens
Modellierung und Simulationen zur Ermittlung geeigneter Magnetfeld-Sensor-Geometrien
Jenny Klaus¹
3. Statusworkshop der Forschergruppe MagSens, 18 March 2019, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau, Germany
¹IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
Integrated sensor systems Talk and poster presentationMagSens

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