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The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers
Bernd Hähnlein1, Maria Kellner2, Maximilian Krey3, Alireza Nikpourian2, Jörg Pezoldt4, Steffen Michael2, Hannes Toepfer2,3, Stefan Krischok1, Katja Tonisch1
in Sensors and Actuators A: Physical, vol. 345, pp. 113784, 2022, DOI: doi.org/10.1016/j.sna.2022.113784
1Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Technische Physik 1, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany, 2IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 3Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Theoretische Elektrotechnik, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 66, Germany, 4Technische Universität Ilmenau, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN) MacroNano®, Fachgebiet Nanotechnologie, 98684 Ilmenau, P.O. Box 10 05 65, Germany
