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Vergleich der Scan-Perfomance bei Nanopositioniersystemen mit großem Bewegungsbereich
Stephan Zschäck1.
Steffen Hesse2.
Avid Amthor1.
Michael Katzschmann2.
Christoph Schäffel2.
Christoph Ament1.
tm – Technisches Messen, Oldenbourg Verlag, Band 81, Heft 6, Seiten 335 – 342, ISSN (Online) 2196-7113, ISSN (Print) 0171-8096, DOI: dx.doi.org/10.1515/teme-2014-0358, May 2014
1Technische Universität Ilmenau, Fakultät für Informatik und Automatisierung, Germany, Ilmenau.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
