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The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers
Bernd Hähnlein1.
Maria Kellner2.
Maximilian Krey3.
Alireza Nikpourian2.
Jörg Pezoldt4.
Steffen Michael2.
Hannes Töpfer3.
Stefan Krischok1.
Katja Tonisch1.
Sensors and Actuators A: Physical, Volume 345, 2022, 113784, ISSN 0924-4247, DOI: doi.org/10.1016/j.sna.2022.113784
1FG Technische Physik 1, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
3FG Theoretische Elektrotechnik, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany.
4FG Nanotechnologie, Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN MacroNano(R)), Technische Universität Ilmenau, Postfach 100565, Ilmenau, 98684, Germany.
