Positioning performance of a planar nanopositioning system with 100mm circular travel range

St. Hesse¹. C. Schäffel¹. M. Katzschmann¹. H.-J. Büchner².

27th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering (ASPE), 2012, in Proceedings, ISBN 978-1-887706-61-2, p. 103-106

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. ²Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik, Ilmenau, Germany.

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Projekt

SFB622

Das IMMS hat neuartige Antriebsstrukturen für die nanometerpräzise Bewegung von Objekten über große Fahrbereiche entwickelt.

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