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Messverfahren zur HF-Charakterisierung des Crosstalks verschiedener Halbleitertechnologien
		
		   Björn Bieske1.                     
		  
		
			Dagmar Kirsten2. 
                  
		
			Michael Ott3. 
                  
		
			Michael Frey3.    
                  
		
		
		
		
		
		
		
31. GI/GMM/ITG-Workshop, Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2019), 24.-26. Februar 2019, Prien am Chiemsee
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.
			
			
				2X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt, Germany.
			  
			
				3Melexis GmbH, Germany.