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Aktuelle Publikation

Messverfahren zur HF-Charakterisierung des Crosstalks verschiedener Halbleitertechnologien

Björn Bieske1, Dagmar Kirsten2, Andreas Ott3, Michael Frey3
31. GI/GMM/ITG-Workshop, Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2019), , Prien am Chiemsee
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany, 2X-FAB Semiconductor Foundries GmbH, Haarbergstraße 67, 99097 Erfurt, Germany, 3Melexis GmbH, Konrad-Zuse-Straße 15, 99099 Erfurt, Germany