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Ein neues Maschinenkonzept mit planaren Mehrkoordinatenantrieben und Laserstrahlen
E. Kallenbach2.
E. Saffert2.
A. Hoffmann1.
Ch. Schäffel1.
S. Pause3.
1. Anwenderfachtagung Mikrosystemtechnik, Österreich, Dornbirn, März 2000
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Ilmenau.
3LLT Applikation GmbH, Ilmenau.
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