Aktuelle Publikation
Ein neues Maschinenkonzept mit planaren Mehrkoordinatenantrieben und Laserstrahlen
E. Kallenbach2.
E. Saffert2.
A. Hoffmann1.
Ch. Schäffel1.
S. Pause3.
1. Anwenderfachtagung Mikrosystemtechnik, Österreich, Dornbirn, März 2000
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2TU Ilmenau.
3LLT Applikation GmbH, Ilmenau.
Vortrag