Current Publication
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1.
Michael Katzschmann1.
Alex Huaman1.
Parastoo Salimitari1.
Ludwig Herzog1.
Ilmenauer Nacht der Interferometrie und Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, 8. - 9. April 2025, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.