Current Publication
A method for dynamic interferometric characterization of air bearings for nanopositioning stages
Steffen Hesse1.
Michael Katzschmann1.
Alex Huaman1.
Parastoo Salimitari1.
Ludwig Herzog1.
Internationales Wissenschaftliches Symposium zum Welttag der Interferometrie, 8. - 9. April 2025, Technische Universität Ilmenau, Ilmenau
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.