6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor

C. Rudolf¹. C. Mock¹. C. Walenda¹. R. Glöss¹. R. Liang¹. C. Schäffel². M. Katzschmann². H.-U. Mohr².

12th EUSPEN Int. Conference, Schweden, Stockholm, 04.06.2012-08.06.2012

¹Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.

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