Aktuelle Publikation
6D Magnetic Levitation Positioning System with Compact Integrated 6D Sensor
C. Rudolf1.
C. Mock1.
C. Walenda1.
R. Glöss1.
R. Liang1.
C. Schäffel2.
M. Katzschmann2.
H.-U. Mohr2.
12th EUSPEN Int. Conference, Schweden, Stockholm, 04.06.2012-08.06.2012
1Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.
2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
Vortrag