euspen SIC 2026
I) Optical detection of registration marks with a laser focus sensor and the NPS6D200 nanopositioning system
II) Displacement Measurement and Anisotropy Investigations of Mineral Cast as a Base for Nanopositioning Systems
III) Realization and characteristics of an aerostatically guided nanopositioning axis for high-vacuum applications
I) Steffen Hesse (1), Michael Katzschmann (1), Davi Anders Brasil (1), Ludwig Herzog (1), Denis Dontsov (2), Ilko Rahneberg (2)
II) Ina Naujokat, Neenu Sebastian, Parastoo Salimitari, Ludwig Herzog
III) Ludwig Herzog (1), Martin Assing (1), Steffen Hesse (1), Denis Dontsov (2), Georg Slotta (3)
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(1) IMMS | (2) SIOS Meßtechnik | (3) Aerolas GmbH
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Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Patent
DE 10 2023 118 056
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Auszeichnung
iENA-Silbermedaille für die Erfindung „Beobachter der Atome - Methode zur sub-nm genauen Regelung verkoppelter überaktuierter Positioniersysteme”
Alex S. Huaman
Auszeichnung
Best Paper Award für den Beitrag: Picometer-Scale Positioning of a Linear Drive System via Feedforward-Feedback Control
Alex S. Huaman
Pressemitteilung,
iENA-Silbermedaille für Beobachter der Atome
Neues Regelungskonzept zur sub-nanometergenauen Positionierung
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Ready for Take-off – Vertikalantrieb für die 3D-Nanofertigung vorgestellt
IMMS-Doktorand verteidigt Promotion im DFG-Graduiertenkolleg NanoFab
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Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans
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Beate Hövelmans ist verantwortlich für die Text- und Bildredaktion dieser Webseite, für die Social-Media-Präsenz des IMMS auf LinkedIn und YouTube, die Jahresberichte, für die Pressearbeit mit Regional- und Fachmedien und weitere Kommunikationsformate des IMMS. Sie stellt Ihnen Texte, Bilder und Videomaterial für Ihre Berichterstattung zum IMMS bereit, vermittelt Kontakte für Interviews und ist Ansprechpartnerin für Veranstaltungen.