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Referenz
915.
Piezoelectric AIN-biomorph benders as low-frequent, resonant microactuators with large travel range
Referenz
916.
Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung
Referenz
917.
Ein- und mehrlagige vertikale Comb-Drive-Strukturen zur kapazitiven, niederfrequenten Energiegewinnung