Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
Das IMMS entwickelt einen CMOS-Bildsensor zur zeitaufgelösten Fluoreszenzdetektion für die direkte Integration in mikrofluidische Kartuschen mittels 3D-Siebdruck.
„Das IMMS konnte uns aufgrund seiner jahrelangen Erfahrung im Bereich Messtechnik und dem Schaltungsdesign für optische Sensoren wertvolle Unterstützung anbieten. Die zuverlässige Arbeit und die vertrauensvolle Partnerschaft ist eine hochgeschätzte Basis für die Zusammenarbeit mit dem IMMS.”
„Die Erfahrung in den Bereichen digitales IC-Design, Synthese, Place & Route, Verifikation und Sign-Off unter Verwendung modernster Tools und Methoden macht das IMMS zu einem hervorragenden Partner bei der Entwicklung von integrierten Mixed-Signal-Sensoren.”
„Wir haben das IMMS als zuverlässigen und proaktiven Partner erlebt, der unsere Perspektive eingenommen und daraus zielführende Lösungen realisiert hat und immer offen für neue Impulse ist.“
2021 Jahresbericht | Fachartikel NanoFab (en/de): Untersuchungen zur Positionsregelung von vertikalen Bewegungssystemen für Präzisionsanwendungen im Nanometerbereich
