2115 Ergebnisse
Referenz
  1711. Measurement Precision of a Planar Nanopositioning Machine with a Range of Motion of Ø100 mm  
Jaqueline Stauffenberg, Ingo Ortlepp Johannes Belkner Denis Dontsov Enrico Langlotz Steffen Hesse Ivo Rangelow Eberhard Manske Applied Sciences. 2022; 12(15):7843. DOI: https://doi.org/10.3390/app12157843  
Referenz
  1712. The angle dependent ΔE effect in TiN/AlN/Ni micro cantilevers  
Bernd Hähnlein, Maria Kellner Maximilian Krey Alireza Nikpourian Jörg Pezoldt Steffen Michael Hannes Töpfer Stefan Krischok Katja Tonisch Sensors and Actuators A: Physical, Volume 345, 2022, 113784, ISSN 0924-4247, DOI: https://doi.org/10.1016/j.sna.2022.113784  
Referenz
  1713. DE 10 2021 103 220  
Positionierungssystem zur dreidimensionalen Positionierung eines Objektes sowie Verfahren zu seinem Betrieb  
Veranstaltung
  1714. CCTA 2022  
6th IEEE Conference on Control Technology and Applications  
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  1715. Jahresbericht 2005  
Jahresbericht 2005 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)  
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  1716. 2011 Jahresbericht | Fachartikel Mag6D (en/de)  
2011 Jahresbericht | Fachartikel Mag6D (en/de): Magnetic 6D Direct Drive Mag6D  
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  1717. Jahresbericht 2006  
Jahresbericht 2006 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)  
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  1718. Jahresbericht 2008  
Jahresbericht 2008 | IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH)  
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  1719. Jahresbericht 2011  
Jahresbericht 2011 Impressum Herausgeber Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH Ehrenbergstraße 27 D-98693 Ilmenau Tel. : +49.3677.6955.00 Fax : +49.3677.6955.15 E-Mail: imms@imms.de www: http://www.imms.de Lektorat Prof. Dr.-Ing. Ralf Sommer Dipl.-Ing. Hans-Joachim Kelm Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Dipl.-Ing. Anne Arlt Übersetzung Claudia Koch Layout und Satz Manuel Mohr Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Fotos Dipl.-Hdl. Dipl.-Des. Beate Hövelmans Druck Brandtdruck e.K., www.brandtdruck.de Alle Rechte sind vorbehalten.…  
Referenz
  1720. Robust Tracking Control with L1 Adaptive Augmentation for a Long-Stroke Vertical Nanopositioning System: Part I  
Alex S. Huaman, Johann Reger 2022 IEEE Conference on Control Technology and Applications (CCTA), 2022, pp. 614-620, DOI: https://doi.org/10.1109/CCTA49430.2022.9966103, 22 - 25 August, 2022, Trieste, Italy  
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