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Dienstleistung
  1401. MEMS – Simulation, Design und Test  
Dienstleistung MEMS – Simulation, Design und Test: Wir entwickeln als Designhouse für die offene Technologieplattform XMB-10 von X-FAB Beschleunigungssensoren entsprechend Ihrer Spezifikation. Beim Test von MEMS fokussieren wir uns auf die vibrometrische Untersuchung von Sensoren.  
Pressemitteilungen
  1402. MEMS-Entwurfsmethodik mit EDA Achievement Award 2015 geehrt  
Methodik von IMMS und TU Ilmenau erschließt kostengünstige MEMS-Entwicklungen und neue Applikationen.  
Referenz
  1403. MEMS-T-Lab  
Im MEMS-T-Lab nimmt das IMMS hochkomplexe teilautomatisierte Messungen für komplette MEMS-Wafer vor  
Referenz
  1404. MEMS-Vibro3D  
Forschungsinfrastruktur für neue MEMS-Generation: 3D-Vibrometersystem und Breitband-Verstärkersystem.  
Referenz
  1405. MEMS2015  
Ein am IMMS entwickeltes Entwurfswerkzeug generiert Mechanik-Designs automatisch und ermöglicht MEMS-Gesamtsystemsimulationen.  
Veranstaltung
  1407. Messtechnik-Messe SENSOR+TEST 2012  
Vom Sensor bis zur Auswertung: Die gesamte messtechnische Systemkompetenz für die Mess-, Prüf- und Überwachungsaufgaben aller Branchen.  
Referenz
  1409. Messumgebung für Lebensdauertests basierend auf dem Konzept der universellen Test-Chips (UTC)  
Björn Bieske, Ingo Gryl, Pierre Wenke, Martin Jäger, Jörg Steinecke, Xiao Liu, Erfurt, Germany 2023 35. ITG/GI/GMM-Workshop Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2023)  
Referenz
  1410. Messumgebung zur dynamischen Charakterisierung des Leistungsverbrauchs von Ultra-Low-Power Schaltungen  
Marco Reinhard, Alexander Rolapp, Benjamin Saft, Michael Meister, Prien am Chiemsee 2019 31. GI/GMM/ITG-Workshop, Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2019)  
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