Publikationsübersicht –Integrierte SensorsystemeCMOS-basierte Biosensoren
Miniaturisierte CMOS-basierte Multi-Sensor-Plattform für die Analytik und Diagnostik
Alexander Hofmann1. Florian Kögler1. Elisa Hilbrecht1. Victoria Dimova1. Eric Schäfer1.17. Dresdner Sensor-Symposium, 25. - 27. November 2024, Dresden, DOI: doi.org/10.5162/17dss2024/P38
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Miniaturisierter CMOS-ISFET-Sensor für die Analytik und Diagnostik
Alexander Hofmann1.DeviceMed, Das Community-Magazin, Jahrgang 20, Ausgabe 3, Juli 2024, Seite 34 - 36, www.devicemed.de/miniaturisierter-cmos-isfet-sensor-fuer-die-analytik-und-diagnostik-a-8083cd6a17f177898150dcafde09543c/, ISSN 1860-9414 | 69029
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.Enhancing Chemiluminescence-Detection with Dark-Count Rate Optimization Strategies for SPADs in Conventional CMOS Technologies
Benjamin Saft1. Alexander Zimmer2. Maximilian Wiener1. Mirjam Skadell2. Eric Schäfer1.ISSW 2024, The International SPAD Sensor Workshop & the SPAD SENSOR SCHOOL, Trento, Italy, June 3 - 6, 2024
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2X-FAB Semiconductor Foundries GmbH, Erfurt, Germany.Integration of Chemiluminescence-based SPARCL ® Assay on Microfluidic Platform with SPAD-based CMOS Line Sensor IC for Rapid Cytokine Detection
Benjamin Saft1. Biljana Gjurova2. Pia Scholz2. Ana Leonor Heitor Lopes2. Alexander Zimmer3. Mirjam Skadell3. Susann Allelein2. Eric Schäfer1.POCT Meeting 2024, 17. - 18. April 2024, Leipzig
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 2Fraunhofer IZI, Leipzig, Germany. 3X-FAB Global Services GmbH, Erfurt, Germany.SPAD-Based Sensor IC for chemiluminescence assays in microfluidic channels
Alexander Zimmer1. Benjamin Saft2. Maximilian Wiener2. Jakob Hampel2. Mirjam Skadell1. Eric Schäfer2.Conference of Science & Technology for Integrated Circuits (CSTIC), Shanghai, China, March 17-18, 2024, DOI: doi.org/10.1109/CSTIC61820.2024.10531988
1X-FAB Global Services GmbH, Erfurt, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.KODIAK: Components and modules for improved optical diagnostics
Michael Scholles1. Nicole Isserstedt-John2. Dirk Kuhlmeier3. Martin Jahn4. Martin Reuter5. Benjamin Saft6. Eric Schäfer6. Mirjam Skadell7. Alexander Zimmer7. Ana Leonor H. Lopes3.MikroSystemTechnik Kongress 2023, 23. - 25. Oktober 2023, Dresden
1Fraunhofer-Institut Für Photonische Mikrosysteme IPMS & Fraunhofer IPMS, Germany. 2Microfluidic ChipShop, Germany. 3Fraunhofer Institute for Cell Therapy and Immunology, Germany. 4CIS Forschungsinstitut Für Mikrosensorik, Germany. 5LUCAS Instruments GmbH, Germany. 6IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 7X-FAB Global Services GmbH, Germany.Lock-In Pixel CMOS Image Sensor for Time-Resolved Fluorescence Readout of Lateral-Flow Assays
Alexander Hofmann1. Benjamin Saft1. Peggy Reich1. Martin Grabmann1. Georg Gläser1. Max Trübenbach2. Alexander Rolapp1. Marco Reinhard1. Friedrich Scholz2. Eric Schäfer1.IEEE Transactions on Biomedical Circuits and Systems, vol. 16, no. 4, pp. 535-544, Aug. 2022, DOI: doi.org/10.1109/TBCAS.2022.3192926
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH, Germany.Zeitaufgelöste Fluoreszenz für genaue und mobile In-vitro-Diagnostik
Eric Schäfer1. Benjamin Saft1.DeviceMed, Das Community-Magazin, Jahrgang 17, Ausgabe 6, November 2021, Seite 40 - 41, www.devicemed.de, ISSN 1860-9414 | 69029
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Filterless TRF Reader with CMOS Sensor ASIC for Lateral Flow Immunoassays
Alexander Hofmann1. Peggy Reich1. Martin Grabmann1. Georg Gläser1. Max Trübenbach2. Alexander Rolapp1. Marco Reinhard1. Friedrich Scholz2. Eric Schäfer1.2021 IEEE Biomedical Circuits and Systems Conference (BioCAS), 2021, pp. 1-6, doi.org/10.1109/BioCAS49922.2021.9645000, 6 - 9 October 2021, Berlin, Germany, virtual conference
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH, Weimar, Germany.Design and Optimization of a Control Algorithm for a Digital Low-Dropout Regulator in System-on-Chip Applications
Benedikt Ohse1. Jun Tan2.2021 17th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), ieeexplore.ieee.org/document/9547956, 19 - 22 July 2021, Erfurt, Germany, online
1Ernst-Abbe-Hochschule Jena, Jena, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.NFC/HF-RFID transponder IC for Sensor Applications
Muralikrishna Sathyamurthy1.Think Wireless IoT Day on Healthcare and Security, 12 May 2021, online
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.PSA-Nachweis direkt am Point-of-Care
Alexander Hofmann1. Michael Meister1. Alexander Rolapp1. Peggy Reich1. Friedrich Scholz2. Eric Schäfer1.in medical-design, Innovative Produkte und Lösungen in der Medizintechnik, 02/2021, S. 29-32, shop.weka-business-communication.com/medical-design-dsb/Einzelhefte/medical-design-02-2021-Digital.html, www.medical-design.news
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH, Weimar, Germany.Modular hardware and software platform for the rapid implementation of asic-based bioanalytical test systems
Alexander Hofmann1. Peggy Reich1. Marco Götze1. Alexander Rolapp1. Sebastian Uziel1. Thomas Elste1. Bianca Leistritz1. Wolfram Kattanek1. Björn Bieske1.2021 Design, Automation & Test in Europe (DATE), 01 - 05 February 2021, University Booth, past.date-conference.com/proceedings-archive/2021/html/date2021-uni-booth-pro.pdf, Virtual Conference
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Light-Controlled Photometer with Optoelectronic CMOS Biochip for Quantitative PSA Detection
Alexander Hofmann1. Michael Meister1. Alexander Rolapp1. Peggy Reich1. Friedrich Scholz2. Eric Schäfer1.2020 IEEE International Symposium on Circuits and Systems (ISCAS), Sevilla, 2020, pp. 1-5, DOI: doi.org/10.1109/ISCAS45731.2020.9180796
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH, Weimar, Germany.Neue RFID-Technologie ermöglicht batterielosen Betrieb von Sensoren
IMMS1. Alexander Stark2.DeviceMed, Das Community-Magazin, Jahrgang 16, Ausgabe 6, Oktober 2020, S. 24 - 25, www.devicemed.de/neue-rfid-technologie-ermoeglicht-batterielosen-betrieb-von-sensoren-a-969711/, ISSN 1860-9414 | 69029
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2DeviceMed, Redakteur.In-vitro-Diagnostik von Brustkrebs mit einem Kontakt-Bildsensor
Valentin Nakov1. Hendrik Härter2.in Elektronik Praxis, Ausgabe 14/2020, Seite 44 – 46, online: www.elektronikpraxis.vogel.de/in-vitro-diagnostik-von-brustkrebs-mit-einem-kontakt-bildsensor-a-950232
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau, Germany. 2Fachzeitschrift Elektronik Praxis.NISP: An NFC to I2C Sensing Platform with Supply Interference Reduction for Flexible RFID Sensor Applications
Jun Tan1. Muralikrishna Sathyamurthy1. Alexander Rolapp1. Jonathan Gamez1. Moataz Elkharashi1. Benjamin Saft1. Sylvo Jäger2. Ralf Sommer1.in IEEE Journal of Radio Frequency Identification, vol. 4, no. 1, pp. 3-13, March 2020, DOI: doi.org/10.1109/JRFID.2020.2967862
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Micro-Sensys GmbH, Erfurt, Germany.La petite puce – Customized Chip Design for optical and wireless Sensors
Peggy Reich1.Tech Biz Day – From Innovation to Medical Electronics, 17 October 2019, Lyon, France
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Ein RFID-Chip betreibt batterielos energieintensive Sensoren
Muralikrishna Sathyamurthy1. Peggy Reich1. Eric Schäfer1. Hendrik Härter2.Elektronikpraxis, Heft 14, 18. Juli 2019, S. 48 - 50, 2019, online: www.elektronikpraxis.vogel.de/ein-rfid-chip-betreibt-batterielos-energieintensive-sensoren-a-846415/
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Elektronikpraxis, Redakteur.Will There be Light? - Simulative Prediction of Fluorescence Measurements
Florian Kögler1. Alexander Hofmann1. Georg Gläser1.2019 16th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), Lausanne, Switzerland, 15 - 18 July 2019, pp. 157-160.
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Analysis and Optimization of Power Supply Rejection for Power Management Unit Design in RFID Sensor applications
Jun Tan1. Ralf Sommer1.2019 International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), Lausanne, Switzerland, 15 - 18 July 2019, pp. 181-184. DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2019.8795258
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Customer-specific integrated microelectronics for the application in life-sciences
Peggy Reich1.BIOCHIP – International Forum on Biochips and Biochip Solutions, 7 - 8 May 2019, Berlin
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.From Constraints to Tape-Out: Towards a Continuous AMS Design Flow
Andreas Krinke1. Tilman Horst1. Georg Gläser2. Martin Grabmann2. Tobias Markus3. Benjamin Prautsch4. Uwe Hatnik4. Jens Lienig1.A. Krinke et al., 2019 IEEE 22nd International Symposium on Design and Diagnostics of Electronic Circuits & Systems (DDECS), Cluj-Napoca, Romania, 24 - 26 April 2019, pp. 1-10.
1Technische Universität Dresden, Institute of Electromechanical and Electronic Design, Dresden, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 3Heidelberg University, ZITI, Computer Architecture Group, Heidelberg, Germany. 4Division Engineering of Adaptive Systems, Fraunhofer IIS/EAS, Institute for Integrated Circuits, Dresden, Germany.An RFID to I2C Bridge IC with Supply Interference Reduction for Flexible RFID Sensor Applications
Jun Tan1. Muralikrishna Sathyamurthy1. Alexander Rolapp1. Jonathan Gamez1. Moataz Elkharashi1. Benjamin Saft1. Sylvo Jäger2. Ralf Sommer1.2019 IEEE International Conference on RFID (RFID), Phoenix, AZ, USA, 2019, 2-4 April 2019, pp. 1-6, DOI: doi.org/10.1109/RFID.2019.8719257
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Microsensys GmbH, Erfurt, Germany.A Fully Passive RFID Temperature Sensor SoC With An Accuracy Of ±0.4 °C (3σ) From 0 °C To 125 °C
Jun Tan1. Muralikrishna Sathyamurthy1. Alexander Rolapp1. Jonathan Gamez1. Eckhard Hennig2. Eric Schäfer1. Ralf Sommer1.in IEEE Journal of Radio Frequency Identification, vol. 3, no. 1, pp. 35-45, March 2019. DOI: doi.org/10.1109/JRFID.2019.2896145
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Reutlingen University, Reutlingen, Germany.An Integrated CMOS Photodiode Array for Highly Sensitive Photometric Diagnostics
Alexander Hofmann1. Michael Meister1. Susette Germer1. Friedrich Scholz2.2018 15th International Multi-Conference on Systems, Signals & Devices (SSD), Yassmine Hammamet, Tunisia, 19-22 March 2018, pp. 1465-1470. DOI: doi.org/10.1109/SSD.2018.8570541
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH, Weimar, Germany.Mikroelektronisches Sensor-System und Verfahren für die schnelle, zuverlässige und frühzeitige Diagnostik von Gebärmutterhalskrebs
Kristin Eichelkraut1. Alexander Hofmann2.Workshop „Neue Sensorlösungen für Biologie und Medizin“, 23. Oktober 2018, Anwendungszentrum Mikrosystemtechnik Erfurt
1oncgnostics GmbH, Jena, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Entwurf, Aufbau und Test eines photometrischen Messsystems auf Basis eines CMOS-Sensorarrays für die schnelle und zuverlässige Vorort-Diagnostik von Prostatakrebs
Friedrich Scholz1. Alexander Hofmann2.Workshop „Neue Sensorlösungen für Biologie und Medizin“, 23. Oktober 2018, Anwendungszentrum Mikrosystemtechnik Erfurt
1Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH, Weimar, Germany. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Towards rapid on-site measurement of Staphylococcus aureus contamination by aptasensors implemented with microelectronics
Peggy Reich1,3. Dieter Frense2. Uwe Pliquett2. Dieter Beckmann2.Smart Sensors 2018, Smart Sensors - mechanistic and data driven modelling, 1-2 October 2018, DECHEMA-Haus, Frankfurt/Main
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institut für Bioprozess- und Analysenmesstechnik e.V., Heilbad Heiligenstadt, Germany. 3former iba member, the presented works were created at the iba.Warum sind Mikroelektroniker noch nicht biokompatibel? Herausforderungen und Potentiale von mikroelektronischen Chips in Life Science Anwendungen
Georg Gläser1. Alexander Hofmann1.19. Heiligenstädter Kolloquium, 24.-26. September 2018
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.NFC Compatible Passive HF RFID Transponder for Wireless Bio-Sensing Applications
Muralikrishna Sathyamurthy1. Sylvo Jäger2.19. Heiligenstädter Kolloquium, 24.-26. September 2018
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Micro-Sensys GmbH, Erfurt, Germany.A Fully Passive RFID Temperature Sensor SoC With An Accuracy Of ±0.4 °C (3σ) From 0 °C To 125 °C
Jun Tan1. Muralikrishna Sathyamurthy1. Alexander Rolapp1. Jonathan Gamez1. Eckhard Hennig2. Ralf Sommer1.2018 IEEE International Conference on RFID (RFID), Orlando, FL, USA, 10-12 April 2018, pp. 1-8.
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Reutlingen University, Reutlingen, Germany.System-Level Operating Condition Checks: Automated Augmentation of VerilogAMS Models
Georg Gläser1. Martin Grabmann1. Gerrit Kropp1. Andreas Fürtig2.CDNLive EMEA 2018, 7-9 May 2018, München
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute for Computer Science, Goethe Universität Frankfurt a. M., Germany.System-Level Operating Condition Checks: Automated Augmentation of VerilogAMS Models
Georg Gläser1. Martin Grabmann1. Gerrit Kropp1. Andreas Fürtig2.2018 Design, Automation & Test in Europe (DATE), 19-23 March 2018, Dresden, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute for Computer Science, Goethe Universität Frankfurt a. M., Germany.Wie Mikroelektronik dabei hilft, Krebs im Frühstadium zu erkennen
Alexander Hofmann1. Michael Meister1. Friedrich Scholz2. Balázs Németh1. Susette Germer1. Hendrik Härter3.Elektronikpraxis, Fachwissen für Elektronik Professionals, Nr. 1, 11. Januar 2018, S. 46 - 48, online: www.elektronikpraxis.vogel.de/wie-mikroelektronik-dabei-hilft-krebs-im-fruehstadium-zu-erkennen-a-673280/
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH, Weimar, Germany. 3Elektronikpraxis, Redakteur.Wie Mikroelektronik dabei hilft, Krebs im Frühstadium zu erkennen
Alexander Hofmann1. Michael Meister1. Friedrich Scholz2. Balázs Németh1. Susette Germer1. Hendrik Härter3.Elektronikpraxis, Fachwissen für Elektronik Professionals, online: www.elektronikpraxis.vogel.de/wie-mikroelektronik-dabei-hilft-krebs-im-fruehstadium-zu-erkennen-a-673280/
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH. 3Elektronikpraxis, Redakteur.INSPECT – Mikroelektronische Diagnostikplattformen für die personalisierte Krebsforschung und Mikro-Bioreaktoren
Autorenkollektiv1,2,3,4,5.RIS3 Jahresveranstaltung, Session 3, Innovationsfelder „IKT, innovative und produktionsnahe Dienstleistungen“ und „Gesundes Leben und Gesundheitswirtschaft“ 28. September 2017, Erfurt
1CDA GmbH. 2iba Institut für Bioprozess- und Analysemesstechnik e.V.. 3Senova Gesellschaft für Biowissenschaft und Technik mbH. 4X-FAB Semiconductor Foundries AG. 5IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Automated Generation of System-Level AMS Operating Condition Checks: Your Model’s Insurance Policy
Georg Gläser1. Martin Grabmann1. Gerrit Kropp1. Andreas Fürtig2.2017 14th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), Giardini Naxos, 12-15 June 2017, pp. 1-4. DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2017.7981567
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany. 2Institute for Computer Science, Goethe Universität Frankfurt a. M., Germany.Comparing Apples and Oranges: Evaluating Model-Coverage using Acceptance Regions
Martin Grabmann1. Georg Gläser1.2017 14th International Conference on Synthesis, Modeling, Analysis and Simulation Methods and Applications to Circuit Design (SMACD), Giardini Naxos, 12-15 June 2017, pp. 1-4, DOI: doi.org/10.1109/SMACD.2017.7981566
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Neue miniaturisierte in-vitro Technologie-Konzepte für die Frühdiagnostik von Krebs
Balázs Németh1.MedTech-Summit, 20.-22. Juni 2017, Messe, Nürnberg
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Next Generation Diagnostics: Highly Sensitive Integrated CMOS Photodiode Sensor Array for Light Absorption Measurement
Alexander Hofmann1. Michael Meister1.Sensorica 2017, IEEE Workshop, d-nb.info/1137195215, 8-9 June 2017, Mülheim an der Ruhr
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.Simulation-Driven Impact Analysis of Layout Parasitics in AMS Circuits
Georg Gläser1. Benjamin Saft1. André Jäger1. Martin Grabmann1. Ralf Sommer1.CDNLive, Cadence User Conference 2017, 15-17 May 2017, Munich, Germany
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.