Wissenschaftliche Publikationen
Hier finden Sie alle Veröffentlichungen des IMMS seit 1997: begutachtete Konferenz-Paper / Journal-Beiträge, Fachartikel in Zeitschriften, Vorträge und Posterpräsentationen.
1186 Ergebnisse
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Investigations on tip-based large area nanofabrication and nanometrology using a planar nanopositioning machine (NFM-100)
Jaqueline Stauffenberg1. Johannes Belkner1. Denis Dontsov2. Ludwig Herzog3. Steffen Hesse3. Ivo W Rangelow1,4. Ingo Ortlepp1. Thomas Kissinger1. Eberhard Manske1.2024 Meas. Sci. Technol. 35 085011, DOI: doi.org/10.1088/1361-6501/ad46681Institute for Process Measurement and Sensor Technology, Department for Mechanical Engineering, Gustav-Kirchhoff-Straße 1, Ilmenau, Germany. 2SIOS Meßtechnik GmbH, Am Vogelherd 46, 98693 Ilmenau, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. 4nano analytik GmbH, Ehrenbergstraße 1, 98693 Ilmenau, Germany. -
Investigations on Wafer-Level Testing for Accelerometers by Harmonic Response Measurements
St. Michael1. S. Hering2. M. Katzschmann1.MEMUNITY-Workshop 'Testing MEMS at Wafer-Level', 01.03.2006, Halle1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2X-FAB AG.Vortrag -
Investigations to reduce positioning uncertainty of direct drive systems with aerostatic guiding
St. Hesse1. T. Maaß1. H. -U. Mohr1. Ch. Schäffel1.6th Euspen International Conference, 28.05-01.06.2006, Baden bei Wien1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Investigations to reduce positioning uncertainty of direct drive systems with aerostatic guiding
St. Hesse1. T. Maaß1. H. -U. Mohr1. Ch. Schäffel1.6th Euspen International Conference, 28.05-01.06.2006, Baden bei Wien1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Posterpräsentation -
Josephson Junction Electronics: Trends and Perspectives
H. Töpfer1.25.09.2003, 2 nd International FLUXONICS RSFQ Design Workshop, Ilmenau1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Kamera auf Bestellung
J. Pospiech1. R. Holzapfel1. H. Töpfer2. R. Peukert2. K. Nebel1.(1) AVT GmbH Ilmenau, (2) Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH, S&I-Kompendium 2009, Videoüberwachung, Alarm- & Sicherheitssysteme, S. 208, Januar 2009, www.sui24.net1AVT GmbH Ilmenau. 2IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Fachartikel -
KI für energieeffiziente Sensorsysteme – Effiziente Überwachung von Maschinen und Anlagen
Sebastian Uziel1.elmug4future, Technologiekonferenz, 27. - 28. September 2022, Friedrichroda, Thüringen1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany. -
Kick-off-Meeting zum Projekt 'ANASTASIA'
R. Izak1. St. Lange1. F. Rößler1.München, März 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag -
Kick-off-Meeting zum Projekt 'ASDESE'
C. Foss2. F. Rößler1.Reutlingen, März 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2Melexis.Vortrag -
Kick-off-Meeting ASEDA Projekt VALSE
Ch. Lang1.München, Mai 20011IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.Vortrag