Aktuelle Publikation
Interferometric controlled planar nanopositioning system with 100mm circular travel range
S. Hesse1.
C. Schäffel1.
M. Katzschmann1.
H.-J. Büchner2.
Denver, USA: ASPE 26th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering. in Proceedings, CD-ROM
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Ilmenau, Institut für Prozessmess- und Sensortechnik.
Fachartikel