Aktuelle Publikation
Enhancing RF Bulk Acoustic Wave Devices: Multiphysical Modeling and Performance
Vikrant Chauhan1, Christian Huck2, Astrid Frank3, Wolfgang Akstaller1, Robert Weigel1, Amelie Hagelauer1
in IEEE Microwave Magazine, vol. 20, no. 10, Oct. 2019, pp. 56-70, 2019, DOI: doi.org/10.1109/MMM.2019.2928677
1Friedrich Alexander University Erlangen-Nuremberg, Institute for Electronics Engineering, Cauerstr. 7, 91058 Erlangen, Germany, 2University of Augsburg, Institute of Physics, Universitätsstraße 1, 86159 Augsburg, Germany, 3IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany
Zugehörige Inhalte
Projekt
MUSIK
Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.
Auszeichnung