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Aktuelle Publikation

Enhancing RF Bulk Acoustic Wave Devices: Multiphysical Modeling and Performance

Vikrant Chauhan1. Christian Huck2. Astrid Frank3. Wolfgang Akstaller1. Robert Weigel1. Amelie Hagelauer1.

in IEEE Microwave Magazine, vol. 20, no. 10, pp. 56-70, Oct. 2019. DOI: doi.org/10.1109/MMM.2019.2928677

1Institute for Electronics Engineering, University of Erlangen-Nuremberg, Germany. 2Institute of Physics, University of Augsburg, Germany. 3IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Zugehörige Inhalte

Projekt

MUSIK

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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