Silicon-Ceramic Composite Substrate: A Promising RF Platform for Heterogeneous Integration

Michael Fischer¹. Sebastian Gropp¹. Johannes Stegner¹. Astrid Frank². Martin Hoffmann¹. Jens Mueller¹.

in IEEE Microwave Magazine, vol. 20, no. 10, pp. 28-43, Oct. 2019. DOI: doi.org/10.1109/MMM.2019.2928675

¹IMN MacroNano, Technische Universität Ilmenau, Germany. ²IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.

Begutachtete Veröffentlichung

Zugehörige Inhalte

Projekt

MUSIK

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

Auszeichnung

Best Paper Award Runner-Up für den Beitrag: Systematic MEMS ASIC Design Flow using the Example of an Acceleration Sensor

Jenny Klaus

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