Projekte
Hier finden Sie alle Projekte, die wir auf der Website vorstellen und an verschiedenen Stellen einbinden. Filtern Sie einfach nach Ihren Interessen.
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Projekt
NanoFab
Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.
Projekt
NFM-100
Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.
Projekt
OptoMed-Vakuumluftlager
Luftlager in Hochpräzisions-Vakuumanwendungen? Mit unseren Partnern loten wir das technisch Machbare dieses (scheinbaren) Widerspruchs aus.
Projekt
Ovutinin
Für einen innovativen Schnelltest zur Fertilitätsdiagnostik entwickelt das IMMS einen Bildsensor zur zeitaufgelösten Fluoreszenzmessung.
Projekt
PANDIA
IMMS entwickelt neuartige CMOS- und SPAD-Sensor-ICs für Spektroradiometer zur schnelleren und empfindlicheren Analyse von Licht
Projekt
PMS380
Dank des planaren Antriebssystems des IMMS werden weltweit in der Halbleiterfertigung 300mm-Wafer per Laser-Dicing vereinzelt.