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Industriepartner geben uns wesentliche Impulse für unsere anwendungsnahe Forschung. Das Bild zeigt eine Präsentation der Zwischenergebnisse der Forschergruppe Green-ISAS zu autonomen Industrie-4.0-Komponenten. Foto: IMMS.

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MUSIK

Das IMMS hat MEMS-Eigenschaften untersucht, modelliert und validiert, um Grundblöcke für eine universelle MEMS-Designmethodik zu entwickeln.

Projekt

NanoFab

Das IMMS arbeitet an Lösungen für ein hochdynamisches Antriebssystem zur mehrachsigen Bearbeitung von Objekten mit Nanometer-Präzision.

Projekt

NeAIxt

Das IMMS erweitert seine UHF-RFID-Sensor-Transponder-ICs mit neuartiger Speichertechnologie für smarte Sensorik-Anwendungen in der Logistik

Projekt

NFM-100

Für die Grundlagenforschung zur Nanomesstechnik und Nanofabrikation der TU Ilmenau wurde mit der Nanofabrikationsmaschine NFM-100 ein System realisiert, welches zum einen die Abtastung von Oberflächen (AFM) und zum anderen die Bearbeitung mittels Feldemissions-Rastersondenlithographie erstmalig in einem xy-Verfahrbereich von Ø100 mm möglich macht.