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Nutzung der Hörbarmachung von Ultraschallsignalen zur (werkstofflichen) Zustandsbewertung von Maschinen- und Bauteilen
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NPS6D200: Long-Range-6D-Nanopositionierung mit interferometrischem Feedback für das Closed-Loop-Regelungssystem
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NPS6D200 – Realization of high precision long stroke vertical actuation in conjunction with a planar direct drive