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Optical, mechanical and electro-optical design of an interferometric test station for massive parallel inspection of MEMS and MOEMS
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Arbeitsetappen, Erkenntnisse und Erfahrungen bei der Systematisierung des Entwurfs von zyklischen ADU in SC-Technik am IMMS (1999-2009)
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Post-Layout Optimierung unter Verwendung eines 'Automatic Device Type Selection'-Algorithmus