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Wärmesimulation in der Mikromechanik- Simulation eines Zeilenscanners für Laser-TV-Systeme

K. Rettig1.

15. CAD-FEM Users Meeting, Fulda, Oktober 1997

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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