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Test und Charakterisierung von MEMS mittels dynamischer Messung am Beispiel von Membranstrukturen und Resonatoren

St. Michael1.

4. Silicon Saxony Day, 12.-13. Mai 2009, Dresden

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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