Current Publication
Stress Identification of Thin Membrane Structures by Dynamic Measuarments. Aix-en-Provence
S. Michael1.
C. Schäffel1.
S. Voigt2.
R. Knechtel3.
France: Design, Test, Integration & Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP). S. 106-109. ISBN: 978-2-35500-013-3
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Technische Universität Chemnitz.
3X-FAB Semiconductor Foundries AG, Erfurt.
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