Current Publication
Planar Magnetic 6D Levitating System with Compact Sensor
Christoph Schäffel1.
Michael Katzschmann1.
Hans-Ulrich Mohr1.
Rainer Glöß2.
Christopher Mock2.
Christian Rudolf2.
Carolin Walenda2.
6. Tagung 'Feinwerktechnische Konstruktion', Dresden, 08.11.2012
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
2Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Germany.
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