NPS6D100—A 6D Nanopositioning System with Sub-10 nm Performance in a Ø100 mm × 10 mm Workspace

Steffen Hesse¹. Alex S. Huaman¹. Micheal Katzschmann¹. Ludwig Herzog¹.

Actuators 2025, 14, 361, DOI: doi.org/10.3390/act14080361

¹IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany.