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Current Publication

Nanopositioniersysteme großer Bewegungsbereiche

St. Hesse1. C. Schäffel1.

DFG Begutachtung, SFB 622 'Nanopositionier- und Nanomesssysteme', Teilprojekt A5, Forschungsziele 2009-2013, 11.02.-12.02.2009, Technische Universität Ilmenau

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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