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Modulare Sensor-Testplattform für Hochtemperaturanwendungen bis 300 °C
Björn Bieske1.
Tom Reinhold1.
Marco Reinhard1.
20. GMA/ITG Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2019, 25. - 26. Juni 2019, Nürnberg
1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, 98693 Ilmenau, Germany.