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Modulare Hochtemperatur-Testplattform bis 300 °C

Björn Bieske1, Tom Reinhold1, Marco Reinhard1
30. GI/GMM/ITG-Workshop, Testmethoden und Zuverlässigkeit von Schaltungen und Systemen (TuZ 2018), , Freiburg im Breisgau, Germany
1IMMS Institut für Mikroelekronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH (IMMS GmbH), Ehrenbergstraße 27, 98693 Ilmenau, Germany

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Integrated sensors and microelectronics operate at 300°C, enabling more efficient processes


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