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Manche mögen's heiß - Silicon-on- Insulator- Bauelemente und ihre Besonderheiten

D. Nuernbergk1. M. Lange1. St. Richter2. W. Göttlich3.

F&M, April 1999

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau. 2TU Ilmenau. 3X-FAB AG.
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