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Magnetische Direktantriebe mit sub-µm-Genauigkeit Magnetisch schwebende Plattform

F. Spiller1.

Suhl: elmug4future. 05.07. - 06.07.2011

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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