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Integrierte optische Sensoren und Systeme in CMOS- und BiCMOS - Technologien

M. Heise1. U. Kuniß. H. Pleß.

43. IWK, TU Ilmenau, September 1998

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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