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Integration von nichtflüchtigen Speichern und Analogfunktionen in den Logik CMOS Prozeß

U. Baumann1.

MEDEA-Abschlußbericht im Projekt (INSAF), (Förderkennzeichen: 01M 2986 B, MEDEA T 502), März 1999

1IMMS Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gemeinnützige GmbH, Ilmenau.
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